看完这个双级旋片真空泵工作原理的解读让你分分钟涨知识
浏览次数:2501发布日期:2021-03-31
双级旋片真空泵由两个工作室组成。前级泵是低真空级(又叫一级,低级),后级泵是高真空级(又叫第二级,高级),被抽气体经后级进入前级,由排气阀排出泵外。前、后两级稍有不同:后级的泵腔(缸)比前级大,前级和单极泵一样,随时有油进入泵腔,而后级仅在开始工作时存有少量的油,工作一段时间后,便没有油进入泵腔了。后级工作时,一部分气体从后排气阀直接排到大气中去,一部分气体经由前级泵排到大气中去;工作一段时间后,后级泵里的气体经过压缩后,压强达不到一个大气压以上,推不开后排气阀,这些气体就*从前级排出去。
抽气时间一长,后级泵进气口的压强大大下降,泵的出口压强也很小,进出口的压强差也就小,被压缩气体返回的数量相应减少多同时,后级泵中易蒸发的油分子不断被前级泵抽走,油蒸气的分压强因而就减小了。这样可以提高泵的极限真空度.而油污染也比单级泵小。
第I室和第五室旋片的安装位置是互相垂直的。因此,保证一级排气时第二级正好是抽气,使它们能同步地工作。
当双级旋片真空泵工作一段时间后,II室吸入的气体压力较低时,虽经II室的压缩,压力也达不到一个大气压以上,排不开辅助排气阀(1),则吸入的气体全部进入前级A室,经I室的继续压缩,由排气阀(1)排出。
双级旋片真空泵工作一段时间后,由于高真空级进气时压力大大降低,其出口压力也很小,这样II室进出气口的压力差也较小,被压缩气体返回的数量也相应减少;同时,后级泵中易蒸发的油分子不断被前级I室抽走,油蒸气的分压减少了,因而双级泵的油污染比单级小,极限真空度将大大提高。国前的双级旋片真空泵的极限真空度可10-2Pa,国外有的泵可达到10-3Pa。