双级旋片真空泵是如何工作的,工作原理其实很简单。
浏览次数:4738发布日期:2020-03-27
旋片真空泵,螺杆真空泵厂家介绍过它的原理,也介绍过普通旋片与干式旋片的一些差异。今天我们要再了解下其中的双级旋片真空泵是如何工作的。
普通的旋片真空泵有单双级之分,一般单级的工作真空(非极限真空)介于大气压到50Pa之间,而双级的工作真空(非极限真空)一般在大气压到5Pa之间。《容积式真空泵知多少——旋片式真空泵》中,螺杆真空泵厂家介绍了基本的原理。而双级旋片真空泵的运作可以简单地理解为将两个单级泵串联起来:
双级旋片真空泵由两个工作室组成,两室前后串联,同向等速旋转;一般流程中被抽气体由进气口进入高真空级,经过高真空级压缩后再经通道进入到低真空级再度进行压缩;但在抽气刚开始时,一般情况下真空室的压力本身较高,被抽气体经过高真空级压缩后因增幅过大会早早达到排气压力,此时压缩气体会由辅助排气阀排出一部分,另外一部分继续进入低真空级进行压缩排放;抽到一定程度后,进气压力变小,这时经过高真空级压缩后的气体压力会低于辅助排气阀的开启压力,这时辅助排气阀就会关闭,气体会全部经通道进入低真空级压缩后排出。
另外,关于辅助排气阀这个设置,也不是所有的双级旋片真空泵都会有。一些小型的双级旋片真空泵可能将高低真空腔做成等腔结构,这个时候就不需要辅助排气阀。
双级旋片真空泵的主要运作原理也就是这些了,是不是了解了呢?